無塵車間的簡述與主要功用 |
發布者: 發布時間:2023/5/17 8:46:22 點擊:612 |
無塵車間的特點在于,不論外界的空氣條件怎么改變,均可以使室內的空氣保持在必定的潔凈度、濕度及壓力,那么無塵車間有哪些用處呢?
無塵車間較首要之作用在于操控產品(如硅芯片等)所觸摸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個杰出之環境空間中出產、制作,此空間咱們稱之為無塵車間。依照世界慣例,無塵凈化等級首要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規范的粒子數量來規定。也便是說所謂無塵并非沒有一點塵埃,而是操控在一個十分微量的單位上。當然這個規范中符合塵埃規范的顆粒相關于咱們常見的塵埃已經是小的微乎其微,但是關于光學構造而言,哪怕是一點點的塵埃都會產生十分大的負面影響,所以在光學構造產品的出產上,無塵是必定的要求。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量操控在3500個以下,達到了世界無塵規范的A級。應用在芯片級出產加工的無塵規范關于塵埃的要求高于A級,這樣的高標首要被應用在一些等級較高芯片出產上。微塵數量被嚴厲操控在每立方米1000個以內,這也便是業界俗稱的1K等級。
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