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按照世界慣例，無塵凈化等級主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規范的粒子數量來規定。也是說所謂無塵并非100%沒有一點塵埃，而是控制在一個十分微量的單位上。當然這個規范中契合塵埃規范的顆粒相關于我們常見的塵埃已經是小的微乎其微，但是關于光學構造而言，哪怕是一點點的塵埃都會產生十分大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，達到了世界無塵規范的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵規范關于塵埃的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴厲控制在每立方米1000個以內，這也是業內俗稱的1K等級。