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潔凈室內之污染路來源，經測試分析成果，作業人員占約80%。試驗數據顯示，作業人員進出潔凈室時塵土有明顯增加，有人動作時，潔凈度立刻劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。?

潔凈室的污染源可分為外污染及內污染源。外污染源主要包含空調送風、空隙進入、建筑物、工作服、風管資料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包含制程設備、工作人員、東西、加工制程、隔間資料、工作桌、包裝資料等。?

對硅芯片而言，微塵粒子之附著將形成集成電路線路的變形或短路，使芯片失掉運作功用，因此微污染源已成為潔凈室辦理的重要環節。

微污染防控，其基本原則有四：    

1、外部塵土侵入之避免潔凈室恰當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原資料搬入潔凈室前先做好清潔擦洗等防塵動作，空氣過濾器恰當的辦理和設置。    

2、室內發塵之避免隔間板、地板等潔凈室資料的恰當選用、制程設備的發塵、生產自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的辦理、使用潔凈室容器等。    

3、室內發塵之不積留墻面體應光滑無死角、潔凈室需定期保養和打掃、制程設備四周應留有空間。   

4、發生塵土之排除換氣次數應足夠，恰當的空間安置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須恰當。人、物入室的辦理問題、實際的作業條件和工程辦理相關之問題、室內之空調及打掃聯系之問題。