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凈化車間溫度的測試：應將潔凈工作區劃分為等面積的柵格，每個分格面積不超過100平方米或與建設方協商確定，每格測點1個以上，每個房間測點至少2個。測試高度應為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應考慮熱源等的影響，測量時間應至少1H，并至少6min測量一次，讀數穩定后做好記錄。凈化車間一般溫度測試的測點，每個溫度控制區或每個房間1個測點，測試點高度宜為工作面高度，測量時間應至少1H，并至少6min測量一次，讀數穩定后做好記錄。凈化車間濕度的測試：濕度測試可采用通風干濕球濕度計、電容式濕度計、數字式濕度計、毛發式濕度儀器。相對濕度測試的測點、測試頻度和時間與溫度測試時間相同，宜一同測試。